无色,不可燃气体,不溶于水,溶于乙醇。临界温度19.7℃,常温下(19.7℃)是压缩气体。化学性质不活泼,在600℃以下与石英不反应,在842℃下还不全部分解。与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。
以活性炭与氟为原料,在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4、C2 F6、C3 F8的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,提取C2 F6,再用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99. 7%的C2 F6。
用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。
大鼠吸入80%(20%为02)×4h,近似致死浓度。本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。可视为无毒气体,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。发现中毒时,应立即将受害者转移到无污染区,必要时施以人工呼吸,请医生诊治。储存于阴凉、通风仓库内。远离火种、热源。防潮、防晒。应与易燃、可燃物分开存放。
中文名 | 全氟乙烷 |
英文名 | hexafluoroethane |
别名 | 六氟乙烷 全氟乙烷 R116全氟乙烷 六氟乙烷 R116 |
英文别名 | r116 R-116 R 116 PFC116 freon116 Hexafluorethan perfluoroethane hexafluoroethane hexafluoro-ethan Perfluorocarbon116 FC-116~Perfluoroethane |
CAS | 76-16-4 |
EINECS | 200-939-8 |
化学式 | C2F6 |
分子量 | 138.01 |
InChI | InChI=1/C2F6/c3-1(4,5)2(6,7)8 |
InChIKey | WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N |
密度 | 1,607 g/cm3 |
熔点 | −100°C(lit.) |
沸点 | −78°C(lit.) |
蒸汽压 | 430 psi ( 21 °C) |
蒸汽密度 | 4.7 (vs air) |
折射率 | 1.2060 |
物化性质 | 六氟乙烷化学式C2F6,纯度>99.7%,为无色、无臭、无味、不可燃的惰性气体。微溶于水,熔点-100.6℃,沸点-78℃,液体密度1.60g/ml。 |
危险品标志 | Xi - 刺激性物品 |
安全术语 | 38 - 通风不良时,须佩戴适当的呼吸器。 |
危险品运输编号 | UN 2193 2.2 |
WGK Germany | 3 |
RTECS | KI4110000 |
TSCA | T |
Hazard Note | Irritant |
Hazard Class | 2.2 |
上游原料 | 乙烷 五氟碘乙烷 |
下游产品 | 五氟乙烷 |
无色,不可燃气体,不溶于水,溶于乙醇。临界温度19.7℃,常温下(19.7℃)是压缩气体。化学性质不活泼,在600℃以下与石英不反应,在842℃下还不全部分解。与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。
以活性炭与氟为原料,在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4、C2 F6、C3 F8的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,提取C2 F6,再用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99. 7%的C2 F6。
用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。
大鼠吸入80%(20%为02)×4h,近似致死浓度。本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。可视为无毒气体,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。发现中毒时,应立即将受害者转移到无污染区,必要时施以人工呼吸,请医生诊治。储存于阴凉、通风仓库内。远离火种、热源。防潮、防晒。应与易燃、可燃物分开存放。