中文名 | 六氟化钨 |
英文名 | Tungsten hexafluoride |
别名 | 氟化钨 六氟化钨 六氟化鎢 氟化钨(VI) 氟化物测定用标准溶液 |
英文别名 | WF6 UN2196 Tungstenfluoride Tungsten fluoride Hexafluorotungsten Tungsten hexafluoride TUNGSTEN(VI) FLUORIDE TUNGSTEN HEXAFLUORIDE Tungsten fluoride (WF6) tungsten(6+) hexafluoride (oc-6-11)-tungstenfluoride(wf6 Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)- Tungsten hexafluoride [UN2196] [Poison gas] |
CAS | 7783-82-6 |
EINECS | 232-029-1 |
化学式 | F6W |
分子量 | 297.83 |
InChI | InChI=1/6FH.W/h6*1H;/q;;;;;;+6/p-6/rF6W/c1-7(2,3,4,5)6 |
密度 | d15liq 3.441 |
熔点 | 2.3°C(lit.) |
沸点 | 17.5°C(lit.) |
水溶性 | decomposes |
蒸汽压 | 10hPa at 20℃ |
外观 | 无色气体 |
Merck | 13,9885 |
物化性质 | 化学式WF6。分子量297.84。无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒,其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟,生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性,但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时,对玻璃的腐蚀性较弱,而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。 【密度】 3.44×103kg/m3(15℃,液体) 【熔点】 2.5℃(5.6×104帕) 【沸点】 17.5℃ 【临界温度】 171℃ 【临界压力】 445.8kPa 【制备方法】 由金属钨粉与元素氟直接反应合成。 【主要用途】 (1)一种强氟化剂,用于气相沉积法制钨膜。(2)在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨,以制作低电阻、 高熔点的互连线。 图1为六氟化钨分子结构式。 |
危险品标志 | T - 有毒物品 C - 腐蚀性物品 |
风险术语 | R23/24/25 - 吸入、皮肤接触及吞食有毒。 R34 - 引起灼伤。 |
安全术语 | S26 - 不慎与眼睛接触后,请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。 S36/37/39 - 穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。 S45 - 若发生事故或感不适,立即就医(可能的话,出示其标签)。 |
危险品运输编号 | UN 2196 2.3 |
WGK Germany | 3 |
RTECS | YO7720000 |
Hazard Note | Toxic/Corrosive |
Hazard Class | 2.3 |
下游产品 | 钨 |