四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2. 798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛,将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中,滴加氟化氢使其反应,将反应物静置数小时,再徐徐加热,加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢,再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华,经冷却即得到四氟化钛粉末产品,用密封的铜制容器贮存。
用于成膜材料及离子注入掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。
中文名 | 四氟化钛 |
英文名 | Titanic fluoride |
别名 | 四氟化钛 头孢呋辛酸 氟化钛(IV) 四氟化钛(IV) 头孢呋辛酸(中间体) |
英文别名 | TiF4 Titanic fluoride CEFUROXIME,FREE ACID Cefuroxin CP2000,BP98 Titanium(IV) Fluoride VANADIUM-GALLIUM ALLOY Titanium tetrafluoride titanium(4+) tetrafluoride Titanium fluoride (TiF4), (T-4)- |
CAS | 7783-63-3 |
EINECS | 232-017-6 |
化学式 | F4Ti |
分子量 | 123.86 |
InChI | InChI=1/4FH.Ti/h4*1H;/q;;;;+4/p-4/rF4Ti/c1-5(2,3)4 |
密度 | 2.798 g/mL at 25 °C (lit.) |
熔点 | >400°C |
沸点 | 284°C |
水溶性 | Insoluble in water. |
存储条件 | Room Temprature |
敏感性 | Moisture Sensitive |
外观 | 粉末和/或块 |
比重 | 2.798 |
颜色 | White |
Merck | 14,9479 |
暴露限值 | ACGIH: TWA 2.5 mg/m3NIOSH: IDLH 250 mg/m3 |
物化性质 | 四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2.798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。 |
MDL号 | MFCD00042545 |
危险品标志 | C - 腐蚀性物品 |
风险术语 | R20/21/22 - 吸入、皮肤接触及吞食有害。 R34 - 引起灼伤。 |
安全术语 | S26 - 不慎与眼睛接触后,请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。 S27 - 一旦衣物受到污染,请立即脱去。 S28 - 不慎与皮肤接触后,立即用大量肥皂水冲洗。 S36/37/39 - 穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。 S45 - 若发生事故或感不适,立即就医(可能的话,出示其标签)。 |
危险品运输编号 | UN 3260 8/PG 2 |
WGK Germany | 3 |
海关编号 | 28261990 |
Hazard Note | Corrosive |
Hazard Class | 8 |
Packing Group | II |
上游原料 | 氢氟酸 (S)-6-氨基-2-((叔丁氧基羰基)氨基)己酸叔丁酯盐酸盐 |
四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2. 798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛,将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中,滴加氟化氢使其反应,将反应物静置数小时,再徐徐加热,加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢,再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华,经冷却即得到四氟化钛粉末产品,用密封的铜制容器贮存。
用于成膜材料及离子注入掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。
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