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ID	CAS	中文名	英文名	化学式	分类
1	1873-77-4	三(三甲基硅基)硅烷	Tris(Trimethylsilyl)Silane	C9H28Si4	有机硅;硅烷试剂;化工原料;有机金属试剂
2	26121-01-7		tris(trimethylsilyl)silicon	C9H28Si4
3	56240-58-5		Tetrasilane, 1,1,1,2,2,3,3,4,4-nonamethyl-	C9H28Si4