| 中文名 | 三(硅甲基)硅烷 |
| 英文名 | Tris(Silylmethyl)Silane |
| 别名 | 三(硅甲基)硅烷 |
| 英文别名 | Tris(Silylmethyl)Silane TRIS(SILYLMETHYL)SILANE |
| CAS | 1385027-19-9 |
| 化学式 | C3H16Si4 |
| 分子量 | 164.5 |
| 沸点 | 61-62°C / 30 |
| 闪点 | 35°C (95°F) |
| 折射率 | 1.4669 |
| 敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
| 比重 | 0.806 |
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