12201-89-7 - 简介
镍硅化物是一种化合物。以下是对其性质、用途、制法和安全信息的介绍:
性质:
- 镍硅化物是一种灰白色的固体,具有金属光泽。
- 它的晶体结构为单斜晶系。
- 它是一种良好的电导体,具有低电阻率和较高的热稳定性。
用途:
- 镍硅化物在半导体工业中应用广泛,主要用作电子器件的电极材料。
- 它在硬盘驱动器、集成电路、太阳能电池等领域中被用作金属化层。
- 镍硅化物还可以用于电阻元件、互连结构和CMOS器件等的制造。
制法:
- 镍硅化物的制备方法主要有物理气相沉积和化学气相沉积两种。
- 在物理气相沉积中,可以通过在高温下使镍和硅反应来制备镍硅化物。
- 化学气相沉积则涉及在反应体系中使用化学气相沉积方法将镍和硅反应生成镍硅化物。
安全信息:
- 镍硅化物本身对人体无毒性。
- 但在制备和处理镍硅化物时,应注意防止其粉尘或颗粒进入呼吸道或眼睛,以免引起刺激。
- 当处理镍硅化物时,应使用适当的个人防护设备,如实验手套、护目镜和防护面罩。
- 在处理废弃镍硅化物时应遵守当地的废弃物管理法规,以确保环境和人体的安全。
最后更新:2024-04-10 22:29:15