高纯四氟化碳
四氟化碳(carbon tetrafluoride)
CAS: 75-73-0
化学式: CF4
性质
四氟甲烷是无色、不可燃气体。常温下为压缩气体。是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，CF4不与Cu、Ni、W、Mo反应，仅在碳弧温度下缓慢分解。与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
制法
以活性炭与氟为原料经氟化反应制各。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、S1F4、C02等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去02、N2、H2，得到高纯CF4。
用途
是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
安全性
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。在处理四氟甲烷过程中可按无毒或低毒气体考虑，但其与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。高浓度下为窒息气体。不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓库内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃、可燃物分开存放。
| 中文名 | 四氟化碳 |
| 英文名 | carbon tetrafluoride |
| 别名 | 四氟化碳 四氟甲烷 高纯四氟化碳 四氟甲烷 R41 四氟甲烷四氟化碳 四氟甲烷 四氟化碳 全氟化碳 |
| 英文别名 | Tetrafluoromethane carbon tetrafluoride Tetrafluoromethane(FC-14) CARBON TETRAFLUORIDE (R-14) Carbon tetrafluoride (FC-14) Tetrafluoromethane(CarbonTetrafluoride) |
| CAS | 75-73-0 |
| EINECS | 200-896-5 |
| 化学式 | CF4 |
| 分子量 | 88 |
| InChI | InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5 |
| 密度 | (solid, -195°) 1.98; d (liq, -183°) 1.89 |
| 熔点 | −184°C(lit.) |
| 沸点 | −130°C(lit.) |
| 水溶性 | mL/100mL in H2O: 0.595 (10°C), 0.490 (20°C), 0.366 (40°C) [LAN05] |
| 蒸汽密度 | 3.04 (vs air) |
| 折射率 | 1.1510 |
| 稳定性 | 稳定。与锌、碱土金属、第I族金属、铝及其合金不相容。不易燃。 |
| Merck | 13,1827 |
| 物化性质 | 无色无臭无味气体。熔点-150℃（-184℃），沸点128℃，密度1.96g/cm3。微溶于水。对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。 |
| 危险品标志 | F - 易燃物品 |
| 安全术语 | 38 - 通风不良时，须佩戴适当的呼吸器。 |
| 危险品运输编号 | UN 1982 2.2 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS | FG4920000 |
| TSCA | T |
| Hazard Note | Non-flammable |
| Hazard Class | 2.2 |
| 上游原料 | 硅胶 氟化钙 氢氧化铬 Nickel tube 四氟(代)肼 六氟乙烷 四氟化硫 |
高纯四氟化碳 - 性质
可信数据
四氟甲烷是无色、不可燃气体。常温下为压缩气体。是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，CF4不与Cu、Ni、W、Mo反应，仅在碳弧温度下缓慢分解。与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
最后更新：2024-01-02 23:10:35
高纯四氟化碳 - 制法
可信数据
以活性炭与氟为原料经氟化反应制各。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、S1F4、C02等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去02、N2、H2，得到高纯CF4。
最后更新：2024-07-01 17:28:57
高纯四氟化碳 - 用途
可信数据
是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
最后更新：2022-01-01 09:31:18
高纯四氟化碳 - 安全性
可信数据
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。在处理四氟甲烷过程中可按无毒或低毒气体考虑，但其与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。高浓度下为窒息气体。不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓库内。仓温不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃、可燃物分开存放。
最后更新：2022-01-01 09:31:18
高纯四氟化碳 - 简介
四氟化碳又称为全氟碳化物。以下是关于四氟化碳的性质，用途，制法和安全信息的介绍：
性质：
1. 四氟化碳为无色、无味、无臭的气体。
2. 在常温下是稳定的，不易燃烧，不溶于水。
3. 四氟化碳具有较高的电离能和极低的极性，使其成为惰性气体。
用途：
1. 四氟化碳可用作电子工业中的绝缘体，广泛应用于半导体、集成电路和显示器等领域。
2. 其良好的电气绝缘性能，四氟化碳还可用作变压器和电容器的介质。
3. 四氟化碳是制造铸件时常用的非金属模具释模剂，可减少铸件与模具的粘合，提高生产效率。
4. 四氟化碳还可用作制冷剂、灭火剂和发泡剂等。
制法：
四氟化碳的制备方法主要有两种：一种是通过氟气和四氯化碳在高温下反应得到；另一种是通过氟化氢与二氯三氟甲烷反应得到。
安全信息：
1. 四氟化碳属于非可燃气体，但在火源附近能形成有害的有机卤素化合物。
2. 四氟化碳对皮肤和眼睛有刺激性，接触时要避免直接暴露。
3. 长时间暴露于高浓度的四氟化碳气体可能引起中毒，引起头痛、呕吐和意识丧失等。
4. 四氟化碳是一种温室气体，对环境具有潜在的危害。
在使用四氟化碳时，必须遵循相应的安全操作规程，并避免短期和长期暴露，以确保人身安全和环境保护。
性质：
1. 四氟化碳为无色、无味、无臭的气体。
2. 在常温下是稳定的，不易燃烧，不溶于水。
3. 四氟化碳具有较高的电离能和极低的极性，使其成为惰性气体。
用途：
1. 四氟化碳可用作电子工业中的绝缘体，广泛应用于半导体、集成电路和显示器等领域。
2. 其良好的电气绝缘性能，四氟化碳还可用作变压器和电容器的介质。
3. 四氟化碳是制造铸件时常用的非金属模具释模剂，可减少铸件与模具的粘合，提高生产效率。
4. 四氟化碳还可用作制冷剂、灭火剂和发泡剂等。
制法：
四氟化碳的制备方法主要有两种：一种是通过氟气和四氯化碳在高温下反应得到；另一种是通过氟化氢与二氯三氟甲烷反应得到。
安全信息：
1. 四氟化碳属于非可燃气体，但在火源附近能形成有害的有机卤素化合物。
2. 四氟化碳对皮肤和眼睛有刺激性，接触时要避免直接暴露。
3. 长时间暴露于高浓度的四氟化碳气体可能引起中毒，引起头痛、呕吐和意识丧失等。
4. 四氟化碳是一种温室气体，对环境具有潜在的危害。
在使用四氟化碳时，必须遵循相应的安全操作规程，并避免短期和长期暴露，以确保人身安全和环境保护。
最后更新：2024-04-10 22:29:15
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